Нанофабрики на повестке дня

Российские инновации: нанофабрики

На прошедшем в Петербурге очередном экономическом форуме были представлены последние достижения российских нанотехнологов

nanotrubka.jpg

Тема нанотехнологий была ключевой для многих экспозиций выставки Инновационных достижений, однако наиболее веско она звучала там, где методики сканирующей зондовой микроскопии соединились с технологиями выращивания эпитаксиальных слоев, формирования ионных пучков и рентгеновской литографией.

Идея объединения столь разнообразных возможностей в рамках единого процесса родилась совсем недавно и пока даже точно не известно, на базе какого синхротрона она будет реализована.

Кандидатов два: первый ныне действующий ускоритель, находящийся на территории российского научного центра «Курчатовский институт», второй – аналогичный (но бездействующий) зеленоградский ускоритель. Эти прецизионные приборы (размером более 100 м) используются как источники мощного рентгеновского синхротронного излучения.

С помощью атомносиловых и туннельных микроскопов можно создавать и исследовать структуры нанометрового размера, однако для массового производства микросхем игла такого микроскопа мало пригодна. Трудности с распараллеливанием зондовых технологий создают почти непреодолимый барьер на пути их использования для массового производства изделий наноэлектроники и микромеханики.

Совсем другое дело исследование физики наноявлений и контроль параметров планарных и пучковых нанотехнологий. Для решения именно таких задач, а так же штучного производства готовых изделий, предназначена нанотехнологическая установка NanoFab 100, разработанная в Зеленограде.

NANOFAB_100.jpg
NANOFAB_100_1_0.jpg

NANOFAB 100

На стенде компании НТ-МДТ демонстрировался макет СуперНаноФаба, а также образцы, позволяющие оценить возможности установки. Фраза «Инновационная России – открытая миру», к примеру, была написана на участке площадью в одну десятую квадратного микрона. Причем в отличие от знаменитой аббревиатуры IBM, выложенной атомами ксенона, инновационная Россия, изображенная на титановой пленке буквами толщиной всего 5 нм, не боится комнатных температур и вполне устойчива к воздействию агрессивных сред.

ФГУ РНЦ «Курчатовский институт» представил на выставке проект «СуперФаб». На этот раз в центре внимания было объединение возможностей российских ядерщиков с достижениями сканирующих микроскопистов для прорыва в мир наноэлектроники.

Проект «СуперФаб» – это кластерная нанотехнологическая фабрика, соединенная со станцией синхротронного излучения. Она представляет собой комплекс высоковакуумных технологических модулей, работающих на наноуровне и связанных общей транспортной системой.

«СуперФаб» предназначен для создания изделий наноэлектроники, спинтроники, нанофотоники, нанофлюидики, а также наносенсоров, МЭМС и НЭМС. При этом мощное синхротронное излучение можно использовать не только как инструмент для исследования и контроля возникающих структур, но и как средство их воспроизводства.

Сегодня трудно сказать, насколько технологичен будет это симбиоз в плане создания серийных наноизделий, но почти наверняка он позволит узнать много нового о жизни атомов и об их способности объединятся в нужные людям структуры.

http://rnd.cnews.ru/…cience.shtml?…

Интересно… Прошло вон уж сколько времени, а мы только сейчас узнаём об этих достижениях отечественных Кулибиных. Как-то несолидно…